Several Measurement Mode of Scanning Probe Microscopy and These Applications

走査プローブ顕微鏡は基本原理が確立して30年あまりが経過した。現在に至る装置環境の変化は目覚ましく，コンピュータや画像処理技術の進歩が装置をより使いやすくした。それにともなう用途の分化によって，いくつかの種類の顕微鏡技術として多様化している。とりわけ原子間力顕微鏡から派生した各種の応用測定モード（摩擦力顕微鏡，磁気力顕微鏡，走査ケルビンプローブ顕微鏡など）は，ほかの顕微鏡において取得できない情報を得られるという利点から注目が高まっている。