2008•Unpublished venueRequires access
Technological Status and Prospect of Oxide Thin Film Transistors
Dae‐Hwan Kim, Jinkyu Kang, Kee‐Jeong Yang, Yun Seon, Shi‐Joon Sung, Dae‐Ho Son, Byeongdae Choi
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Abstract
최근 저명한 국제 디스플레이 관련 전시회에서 기존의 실리콘이나 유기물반도체가 아닌 투명산화물반도체 TFT array를 적용한 디스플레이 시제품이 실용화에 근접한 수준으로 많이 전시되고 있다. 특히 올해는 a-IGZO TFT backplane을 적용한 12.1'' AMOLED 패널과 15'' AMLCD 패널이 소개되어 많은 관심을 받았다. 투명산화물반도체를 이용 한 TFT는 실제로는 6년 정도의 짧은 역사를 가지고 있다. 본고에서는 최근 개최된 국제 학회와 전시회의 발표 동향 분 석을 통해 ZnO 및 a-IGZO 투명산화물반도체의 가능성을 살펴본다. 또한 투명산화물반도체 TFT를 용액공정으로 구현한 몇 가지 사례를 소개하고, 초저가 인쇄형 공정으로의 발전 가능성에 대해 알아보기로 한다.