1993•Journal of King Abdulaziz University-ScienceRequires access
Preparation and Properties of Niobium Thin Films
Fatimah M A Alghamdi, A. EL-HENNAWY, R.A. Bennet, Antonis Vradis
Open publisher page 0 citations
Abstract
أعدت أغشية النيبيوم الرقيقة (Nb) في صورة أقراص بأقطار 3مم ، 12 مم بوساطة التبخير الحراري في وسط فائق التفريغ وذلك باستخدام قاذفة إلكرونيات. الغرض من هذا التبخير هو الحصول على أغشية رقيقة ذات درجة نقاء من الشوائب عالية جدا ولا تقل عن 99.999% وقد تم فحص هذه الأغشية كهربائيا في ظروف مختلفة وفي درجات حرارة متفاوتة 42 ، 77 ، 300درجة كلفن ووجد أن الأغشية الرقيقة التي يقل سمكها عن 500 أنجشتروم غير مناسبة للتطبيقات العملية وذلك لرداءة توصيلها الكهربي وعدم ثباتها في حالة مستقرة.
أما الأغشية التي يزيد سمكها عن ذلك فقد وجد أنها تظل ثابتة الخواص كهربائيا وفيزيائيا ولا تتأثر بالعيوب المحتمل وجودها في سطح القاعدة.